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毛敏耀

作品数：5 被引量：16H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程电气工程更多>>

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王效东
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解健芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 硅 Y分支 光功率分配器 功率分配器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
章熙康
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 物理学 超导薄膜 光学窗口
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金晓峰
供职机构：复旦大学物理学系
研究主题：MN 磁性 GAAS CO 分子束外延
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王添平
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 光学窗口 镍 反应离子刻蚀 静电马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任琮欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭淞生
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
庄志诚
供职机构：上海交通大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 热解 RAMAN 光谱研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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