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毛敏耀

作品数：5 被引量：16H指数：3
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程电气工程更多>>

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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：微机械 微电子机械系统 电容式 微电机 传感器
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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