您的位置： 专家智库 > >

李超波

作品数：343 被引量：152H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 91个电子电信
  • 62个自动化与计算...
  • 61个一般工业技术
  • 60个理学
  • 45个机械工程
  • 41个电气工程
  • 32个化学工程
  • 30个文化科学
  • 28个金属学及工艺
  • 11个交通运输工程
  • 11个医药卫生
  • 10个航空宇航科学...
  • 8个矿业工程
  • 8个轻工技术与工...
  • 8个环境科学与工...
  • 8个农业科学
  • 7个生物学
  • 7个动力工程及工...
  • 7个建筑科学
  • 6个经济管理

主题

  • 59个半导体
  • 54个光学
  • 51个刻蚀
  • 49个纳米
  • 48个金属
  • 47个等离子体
  • 43个电路
  • 43个光刻
  • 42个衬底
  • 42个传感
  • 41个感器
  • 39个电极
  • 38个微电子
  • 37个红外
  • 36个原子层沉积
  • 35个激光
  • 34个氮化
  • 31个单晶
  • 30个等离子
  • 24个多晶

机构

  • 97个中国科学院微...
  • 14个中国科学技术...
  • 13个中国科学院
  • 6个昆明理工大学
  • 6个浙江大学
  • 5个北京科技大学
  • 4个山东科技大学
  • 4个中国科学院大...
  • 4个嘉兴科民电子...
  • 3个中北大学
  • 3个北京自动测试...
  • 3个江苏物联网研...
  • 2个北京大学
  • 2个兰州大学
  • 2个北京交通大学
  • 2个清华大学
  • 2个山东大学
  • 2个华北电力大学
  • 2个中国石油大学...
  • 2个中国科学院微...

资助

  • 80个国家自然科学...
  • 46个国家科技重大...
  • 45个国家高技术研...
  • 34个国家重点基础...
  • 28个中国科学院科...
  • 16个中国科学院知...
  • 13个中国博士后科...
  • 11个中国科学院知...
  • 9个国家教育部博...
  • 8个北京市自然科...
  • 8个中央高校基本...
  • 5个江苏省自然科...
  • 5个教育部科学技...
  • 3个国家科技攻关...
  • 3个云南省应用基...
  • 3个广州市科技计...
  • 3个“九五”国家...
  • 3个广东省科技计...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个沈阳市科技计...

传媒

  • 33个半导体技术
  • 33个微纳电子技术
  • 28个物理学报
  • 27个电子工业专用...
  • 26个Journa...
  • 18个真空科学与技...
  • 16个红外与激光工...
  • 16个仪表技术与传...
  • 16个光电工程
  • 16个微电子学
  • 15个光学学报
  • 14个现代电子技术
  • 13个微细加工技术
  • 13个传感器与微系...
  • 12个红外与毫米波...
  • 11个实验力学
  • 11个激光与光电子...
  • 11个发光学报
  • 10个光子学报
  • 9个材料导报

地区

  • 93个北京市
  • 6个安徽省
  • 4个山东省
  • 4个云南省
  • 1个上海市
  • 1个甘肃省
  • 1个广东省
  • 1个河北省
共 112 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解婧
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪明刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石莎莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 控制部件 氮化硅薄膜 牺牲层 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共12页<12345678910>
聚类工具0