2024年11月27日
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曾磊
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复旦大学
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合作作者
张卫
复旦大学微电子研究院
徐赛生
复旦大学微电子研究院
汪礼康
复旦大学微电子研究院
张立锋
复旦大学微电子研究院
顾晓清
复旦大学
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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徐赛生
供职机构:复旦大学
研究主题:增强型 铜互连 脉冲电镀 势垒层 阴极
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汪礼康
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 脉冲电镀 集成电路 X射线衍射 电阻率
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张立锋
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:铜互连 脉冲电镀 集成电路 X射线衍射 电阻率
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周嘉
供职机构:复旦大学
研究主题:液滴 电极 流控技术 MEMS 流控
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赵东元
供职机构:复旦大学
研究主题:介孔材料 介孔 结构导向剂 大孔径 分子筛
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黄洪湖
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 肝纤维化 疾病诊断 气敏传感器 成膜工艺
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郁挺
供职机构:复旦大学
研究主题:敏感膜 共轭聚合物 共轭 三苯胺 乙烯
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陈声育
供职机构:复旦大学
研究主题:成品率 丙酮分子 掩膜 压电式 硅片
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黄宜平
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 传感器 气体传感器 SOI 硅
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