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13 条 记 录,以下是 1-10
王之江
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 光纤激光器 自由电子激光器 高功率 自由电子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鄢雨
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:侧面泵浦 分光 均匀照明 平行平板 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路敦武
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈蓓军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马国欣
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:反射镜 光学探头 光电倍增管 激光束 单模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁生华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:大规模集成电路 成象系统 机械元件 线条 自动补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘家平
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:白光 光学探头 集中度 洁净度 敏感区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈育志
供职机构:长春光学精密机械学院光学物理系
研究主题:光栅尺 光电读数头 显式 投影仪 数字显示器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张雨东
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:宽带 空气隙 像差校正 平行平板 凸透镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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