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邹海兴
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
王之江
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
鄢雨
中国科学院上海光学精密机械研究...
路敦武
中国科学院上海光学精密机械研究...
丁生华
中国科学院上海光学精密机械研究...
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王之江
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 光纤激光器 自由电子激光器 高功率 自由电子
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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鄢雨
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:侧面泵浦 分光 均匀照明 平行平板 投影光刻
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路敦武
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
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沈蓓军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
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马国欣
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:反射镜 光学探头 光电倍增管 激光束 单模
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丁生华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:大规模集成电路 成象系统 机械元件 线条 自动补偿
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潘家平
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:白光 光学探头 集中度 洁净度 敏感区
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沈育志
供职机构:长春光学精密机械学院光学物理系
研究主题:光栅尺 光电读数头 显式 投影仪 数字显示器
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张雨东
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:宽带 空气隙 像差校正 平行平板 凸透镜
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