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鄢雨

作品数：10 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇期刊文章
  • 2篇专利

领域

  • 8篇电子电信

主题

  • 5篇激光
  • 4篇光刻
  • 2篇数值孔径
  • 2篇投影光刻
  • 2篇平行平板
  • 2篇均匀照明
  • 2篇激光泵浦
  • 2篇激光器
  • 2篇光泵
  • 2篇光学
  • 2篇分光
  • 2篇半导体
  • 2篇侧面泵浦
  • 1篇调Q
  • 1篇亚微米
  • 1篇掩模
  • 1篇掩模板
  • 1篇深亚微米
  • 1篇锁模
  • 1篇匹配函数

机构

  • 10篇中国科学院上...
  • 1篇上海机械学院

作者

  • 10篇鄢雨
  • 5篇邹海兴
  • 3篇王之江
  • 3篇周复正
  • 3篇胡文涛
  • 2篇李植森
  • 2篇李传东
  • 2篇徐德衍
  • 2篇路敦武
  • 1篇张正泉
  • 1篇徐至展
  • 1篇姜中宏
  • 1篇杜龙龙
  • 1篇沈丽青
  • 1篇陈有明
  • 1篇黄惠杰
  • 1篇高瑞昌

传媒

  • 6篇光学学报
  • 2篇中国激光

年份

  • 1篇1996
  • 4篇1995
  • 2篇1994
  • 3篇1993
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
深亚微米激光光刻研究被引量：1
1996年
报道用远紫外准分子激光进行亚微米光刻的实验结果。以波长为２４８．３ｎｍ的ＫｒＦ准分子激光为光源，以光管均匀器为主构成照明系统，采用带有平行平板为像差校正板的１１折反射式投影光刻物镜，在两种光刻胶上分别获得了０．６μｍ和０．
路敦武黄惠杰鄢雨杜龙龙高瑞昌
关键词：准分子激光激光光刻亚微米光刻物镜半导体
一种紫外或深紫外光刻的1:1折反射式光学系统
1993年
设计了一种新的紫外或深紫外光刻物镜.该物镜与国内外现有的紫外或深紫外光刻物镜相比,既能满足大数值孔径的需要,又能充分利用物镜的视场.采用环形照明,能缓解因增大数值孔径而使焦深缩短的矛盾.
鄢雨邹海兴王之江
关键词：光刻光学系统数值孔径紫外辐射
平行平板分光的1∶1折反射式光学系统
本发明是一种平行平板分光的1∶1折反射式光学系统，含有两大部分——照明部分和成像部分。成像部分含有两组结构完全相同的折射镜组，用以分光的厚度相同的两平行平板，两平行平板中间夹有半透半反射面和中心带有中心孔的主反射镜。照明...
鄢雨邹海兴王之江
文献传递
二极管激光侧面泵浦腔内倍频Nd：YAG板条激光器研究被引量：2
1995年
用准连续６０Ｗ的二极管激光列阵侧面泵浦“之”字形Ｎｄ：ＹＡＧ板条激光器，当泵浦功率为４５Ｗ，脉宽为４００μｓ时，得到３．５ｍＪ的激光输出。用ＫＤ＊Ｐ电光开关调Ｑ，得到１８ｎｓ（ＦＷＨＭ）、２ｍＪ的脉冲激光输出，用ＫＴＰ晶体作腔内倍频，得到１５ｎｓ、０．８５ｍＪ的二次谐波激光输出。在腔内无调Ｑ元件且腔长小于５ｃｍ时，于近阈值处得到单频绿光输出，而当泵浦功率稍大，腔内有数个纵模振荡时，观察到激光的反相态，并用数值模拟的结果对此作了解释。
胡文涛周复正李传东鄢雨李植森沈丽青姜中宏
关键词：激光泵浦腔内倍频调Q钕
用空间滤波器改善光管式光学均匀器的性能被引量：1
1993年
本文报道了一种用空间滤波改善光管式光学均匀性的技术,该技术使用空间滤波器滤除入射光束中光场突变部分。
严琪华鄢雨邹海兴路敦武朱文菊
关键词：滤波器空间滤波均匀性
板条激光器的像散补偿被引量：1
1994年
报道了一种板条激光器的像散补偿方法，分析了板条激光器像散补偿后的高斯光束特性。
鄢雨徐德衍严琪华邹海兴
关键词：板条激光器像散补偿ABCD定律
旁轴近似描述的耦合系统模式耦合效率研究被引量：1
1995年
从泵浦光与腔模的空间匹配函数出发，讨论了泵浦光的发散角、焦点位置等因素对激光系统效率的影响。发现在旁轴近似下，匹配函数的最大值随泵浦光发散角的增大而增大，在考虑到像散的影响后，得到泵浦光发散角的参考值。
李传东鄢雨胡文涛周复正张正泉徐至展
关键词：纵向泵浦匹配函数
半导体激光侧面泵浦主动锁模Nd：YAG激光器被引量：2
1995年
报道了用调制频率为４８ＭＨｚ的调幅锁模调制器实现准连续６０Ｗ半导体激光侧面泵浦Ｎｄ：ＹＡＧ激光器的锁模，初模脉冲宽度为１２０ｐｓ。实验中观察到自锁模现象，并对此作了分析。
陈有明周复正胡文涛李植森鄢雨
关键词：半导体激光泵浦锁模激光器
平行平板分光的1∶1折反射式光学系统
本发明是一种平行平板分光的1∶1折反射式光学系统，含有两大部分——照明部分和成象部分。成象部分含有两组结构完全相同的折射镜组，用以分光的厚度相同的两平行平板，两平行平板中间夹有半透半反射面和中心带有中心孔的主反射镜。照明...
鄢雨邹海兴王之江
文献传递
激光二极管本征像散补偿法
1995年
报道了一种用共轴全对称光学系统补偿激光二极管本征像散的新方法，该方法结构简单，易制造，且费用低。文中还给出了几种准直和聚焦的光学系统。
鄢雨徐德衍严琪华
关键词：激光二极管补偿法
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