邹海兴
- 作品数：27 被引量：14H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程文化科学更多>>
- 线条倾斜测量误差自动补偿方法
- 本发明是一种线条倾斜测量误差自动补偿方法。主要适用于大规模集成电路的线宽以及微电子机械元件尺寸的测量。利用由显微成象系统、图象采集系统、计算机和监视器构成的装置，通过最小二乘法曲线拟合或者二点法的方法，求其线条与测量方向...
- 沈蓓军邹海兴丁生华路敦武
- 文献传递
- 一种紫外或深紫外光刻的1:1折反射式光学系统
- 1993年
- 设计了一种新的紫外或深紫外光刻物镜.该物镜与国内外现有的紫外或深紫外光刻物镜相比,既能满足大数值孔径的需要,又能充分利用物镜的视场.采用环形照明,能缓解因增大数值孔径而使焦深缩短的矛盾.
- 鄢雨邹海兴王之江
- 关键词：光刻光学系统数值孔径紫外辐射
- 激光尘埃粒子计数器光学探头
- 一种用于超净检测的激光尘埃粒子计数器光学探头，由单模He-Ne激光器、激光扩束镜组、具有光通道的集光抛物面反射镜、样气通过光敏区并垂直于激光束的样气通道、后向反射镜、聚光透镜、消杂光光栏、光电倍增管等组成。本发明具有尘埃...
- 马国欣邹海兴王之江
- 文献传递
- 平行平板分光的1∶1折反射式光学系统
- 本发明是一种平行平板分光的1∶1折反射式光学系统，含有两大部分——照明部分和成像部分。成像部分含有两组结构完全相同的折射镜组，用以分光的厚度相同的两平行平板，两平行平板中间夹有半透半反射面和中心带有中心孔的主反射镜。照明...
- 鄢雨邹海兴王之江
- 文献传递
- 线条倾斜测量误差自动补偿方法
- 本发明是一种线条倾斜测量误差自动补偿方法。主要适用于大规模集成电路的线宽以及微电子机械元件尺寸的测量。利用由显微成象系统、图象采集系统、计算机和监视器构成的装置，通过最小二乘法曲线拟合或者二点法的方法，求其线条与测量方向...
- 沈蓓军邹海兴丁生华路敦武
- 文献传递
- 白光尘埃粒子计数器的光学探头
- 本实用新型是一种白光尘埃粒子计数器的光学探头，用于检测洁净环境的洁净度。主要由照明系统，散射光收集系统和用以校正的光纤和光陷阱，其中照明系统中光源是置于一球面反射镜和照明透镜组之间，散射光收集系统中光敏感区是在一具有光通...
- 黄惠杰邹海兴潘家平
- 文献传递
- 宽带折反射式紫外光刻物镜的设计
- 1992年
- 本文设计了一种新系列的紫外或远紫外激光光刻物镜,它与国内外已有的紫外物镜相比,在365nm以下的光谱区,具有更宽的光谱工作带宽和较高的数值孔径.以宽带准分子激光或短弧汞氙灯做光源,无需另加色散补偿光学元件,可以进行同轴对准.
- 张雨东邹海兴王之江
- 关键词：数值孔径
- CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测
- 1994年
- 本文介绍了中科院上海光机所研制的ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量，以及掩模制造中的质量控制，ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理，从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。
- 沈蓓军丁生华邹海兴路敦武杨良民
- 关键词：线宽测量光学计量仪器集成电路
- 尘埃粒子的激光散射测量被引量：5
- 1992年
- 激光散射法是快速、准确测定尘埃粒子大小的新方法。从Mie散射理论出发,提出了尘埃粒子的激光散射测量系统中各部分的设计要求,以及达到这些要求的一般方法。给出了一个测量系统的实例。
- 黄惠杰邹海兴马国欣
- 关键词：激光计数器MIE散射
- 投影光刻的光干涉效应
- 邹海兴
- 关键词：光刻大规模集成电路集成电路光学投影系统微电子技术
