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丁生华

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇电路
  • 3篇集成电路
  • 2篇自动补偿
  • 2篇线宽
  • 2篇线条
  • 2篇机械元件
  • 2篇成象系统
  • 2篇大规模集成电...
  • 1篇仪器
  • 1篇图象
  • 1篇图象采集
  • 1篇图象采集系统
  • 1篇线宽测量
  • 1篇计量仪器
  • 1篇光学计
  • 1篇光学计量
  • 1篇光学计量仪器
  • 1篇S-1
  • 1篇CDM

机构

  • 3篇中国科学院上...

作者

  • 3篇路敦武
  • 3篇沈蓓军
  • 3篇邹海兴
  • 3篇丁生华
  • 1篇杨良民

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇1999
  • 1篇1995
  • 1篇1994
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
线条倾斜测量误差自动补偿方法
本发明是一种线条倾斜测量误差自动补偿方法。主要适用于大规模集成电路的线宽以及微电子机械元件尺寸的测量。利用由显微成象系统、图象采集系统、计算机和监视器构成的装置，通过最小二乘法曲线拟合或者二点法的方法，求其线条与测量方向...
沈蓓军邹海兴丁生华路敦武
文献传递
CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测
1994年
本文介绍了中科院上海光机所研制的ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量，以及掩模制造中的质量控制，ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理，从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。
沈蓓军丁生华邹海兴路敦武杨良民
关键词：线宽测量光学计量仪器集成电路
线条倾斜测量误差自动补偿方法
本发明是一种线条倾斜测量误差自动补偿方法。主要适用于大规模集成电路的线宽以及微电子机械元件尺寸的测量。利用由显微成象系统、图象采集系统、计算机和监视器构成的装置，通过最小二乘法曲线拟合或者二点法的方法，求其线条与测量方向...
沈蓓军邹海兴丁生华路敦武
文献传递
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