2024年11月27日
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汤雅权
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北京大学
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国家高技术研究发展计划
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自动化与计算机技术
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合作作者
于晓梅
北京大学微电子学研究院
马盛林
北京大学微电子学研究院
刘毅
北京大学
王兆江
北京大学
易玉良
北京大学
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于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 MEMS
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马盛林
供职机构:北京大学
研究主题:键合 通孔 互连结构 制作方法 TSV
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刘毅
供职机构:南开大学
研究主题:皇陵 陵墓 明代 电极 陶瓷
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易玉良
供职机构:北京大学
研究主题:电极 感应耦合等离子体 硅片 刻蚀 多晶硅
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王兆江
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 高深宽比 感应耦合等离子体 锚点
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张海涛
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 MEMS SOI 悬臂梁 集成化
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王颖
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 梁结构 访谈录 键合
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王玮
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 芯片
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