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马盛林

作品数：42 被引量：5H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 37篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 9篇微电子
  • 8篇通孔
  • 8篇晶圆
  • 8篇键合
  • 7篇封装
  • 7篇半导体
  • 6篇制作方法
  • 6篇芯片
  • 6篇互连
  • 6篇互连结构
  • 6篇红外
  • 5篇电路
  • 5篇面阵
  • 5篇焦平面
  • 5篇焦平面阵列
  • 5篇红外焦平面
  • 5篇红外焦平面阵...
  • 5篇TSV
  • 4篇导体
  • 4篇电极

机构

  • 42篇北京大学

作者

  • 42篇马盛林
  • 32篇金玉丰
  • 28篇缪旻
  • 25篇孙新
  • 24篇朱韫晖
  • 7篇于晓梅
  • 6篇汤雅权
  • 6篇朱蕴晖
  • 4篇刘毅
  • 4篇方孺牛
  • 4篇易玉良
  • 4篇王兆江
  • 3篇王贯江
  • 2篇朱智源
  • 2篇纪明
  • 2篇崔卿虎
  • 2篇王玮
  • 2篇曾清华
  • 2篇官勇
  • 1篇潘程

传媒

  • 1篇传感技术学报
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇中国微米纳米...

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2017
  • 3篇2015
  • 1篇2014
  • 8篇2013
  • 7篇2012
  • 12篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 5篇2008
共 42 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种平面电容谐振器及其制备方法
本发明公开了一种平面电容谐振器及其制备方法。本发明所提供的平面电容谐振器，包括谐振体、传感电极、驱动电极以及支撑它们的衬底，谐振体是悬空的结构，通过锚点固支在衬底上；传感电极和驱动电极均由极板和焊盘组成，传感电极和驱动电...
于晓梅汤雅权刘毅马盛林易玉良王兆江
文献传递
一种通孔互连结构的制作方法
本发明公开了一种通孔互连结构的制作方法，包括在基片上制作盲孔，然后依次淀积种子层和有机物薄膜，贴干膜，并通过光刻在盲孔处形成小于盲孔口径的干膜开口，然后刻蚀去除盲孔底部的有机物薄膜，暴露出种子层，再对盲孔进行填充。进一步...
朱韫晖马盛林孙新缪旻金玉丰
超薄芯片垂直互联封装结构及其制造方法
本发明公开了一种超薄芯片垂直互联封装结构及其制造方法。该结构包括由上至下依次叠放在一起的顶层、中介层和底层，所述中介层具有TSV垂直互联结构，所述中介层的正面和反面分别具有至少一层重新布局互联层，且分别具有微焊球或焊垫；...
马盛林孙新朱韫晖金玉丰缪旻
聚酰亚胺牺牲层工艺的微机械加工技术研究
牺牲层工艺是通过腐蚀或刻蚀牺牲层来制造悬空的梁、膜或空腔结构的技术，广泛应用于MEMS器件与其读出电路的单片集成。可以作为牺牲层的材料主要包括SiN、SiO2和聚酰亚胺，表1为可能的牺牲层与结构层的组合。其中聚酰亚胺材料...
潘程于晓梅马盛林
关键词：聚酰亚胺微机械加工
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一种红外焦平面阵列探测器集成结构及制作方法
本发明公开了一种红外焦平面阵列探测器集成结构及制作方法，属于半导体制造领域。本结构包括：包括第一硅晶圆、第二硅晶圆，第一硅晶圆第二表面上设有红外敏感元件阵列和焊盘、第一表面上设有若干第一电接触元件，第一硅晶圆上设有若干第...
马盛林朱蕴晖孙新金玉丰陈兢缪旻
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一种具有散热功能的三维封装方法
本发明公开了一种具有散热功能的三维封装方法，该方法属于散热和封装技术领域，可以应用于对热功率密度较大的三维封装。该方法通过功能芯片的垂直互连上的微凸点进行芯片的三维堆叠，单个芯片的垂直互连用导电材料铜、铝实现，微凸点的材...
朱韫晖马盛林朱智源金玉丰其他发明人请求不公开姓名
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一种TSV芯片键合结构
本发明公开了一种TSV芯片键合结构，属于微电子技术领域。所述键合结构包括第一芯片和第二芯片，所述第一芯片包括第一微凸点和第一微凸点周围的第一环绕结构，所述第一环绕结构的高度大于所述第一微凸点的高度；所述第二芯片包括第二微...
崔卿虎朱韫晖马盛林缪旻金玉丰
半导体辐射敏感装置及其制作方法
本发明涉及半导体传感器领域，公开了一种半导体辐射敏感装置及其制作方法，该装置包括至少一个辐射敏感单元，辐射敏感单元包括：第一基体、第一柱状电极和第二柱状电极；第一基体包含第一表面和第二表面；第一柱状电极包含第一金属柱和环...
马盛林
一种微通道换热器及其制作方法
本发明公开一种微通道换热器及其制作方法，属于半导体结构制造领域。该微通道换热器包括第一衬底和第二衬底，第一衬底和第二衬底均具有相对的第一表面和第二表面，第一衬底具有贯穿其第一表面和第二表面的微通道，第二衬底在其第一表面上...
官勇马盛林曾清华孟伟陈兢金玉丰
文献传递
一种平面电容谐振器及其制备方法
本发明公开了一种平面电容谐振器及其制备方法。本发明所提供的平面电容谐振器，包括谐振体、传感电极、驱动电极以及支撑它们的衬底，谐振体是悬空的结构，通过锚点固支在衬底上；传感电极和驱动电极均由极板和焊盘组成，传感电极和驱动电...
于晓梅汤雅权刘毅马盛林易玉良王兆江
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