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于晓梅

作品数：79 被引量：28H指数：4
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术生物学医药卫生更多>>

合作作者

文献类型

  • 57篇专利
  • 13篇期刊文章
  • 7篇会议论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 21篇电子电信
  • 10篇自动化与计算...
  • 2篇生物学
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 17篇传感
  • 15篇感器
  • 15篇传感器
  • 13篇面阵
  • 13篇焦平面
  • 13篇红外
  • 12篇焦平面阵列
  • 11篇红外焦平面
  • 11篇红外焦平面阵...
  • 10篇电路
  • 10篇悬臂
  • 10篇悬臂梁
  • 9篇单片
  • 9篇单片集成
  • 9篇阵列
  • 9篇刻蚀
  • 8篇微悬臂梁
  • 7篇电极
  • 7篇平面阵
  • 7篇平面阵列

机构

  • 79篇北京大学
  • 2篇北京大学第一...
  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇中国电子信息...

作者

  • 79篇于晓梅
  • 25篇张大成
  • 15篇李婷
  • 12篇李修函
  • 11篇刘毅
  • 9篇文永正
  • 9篇王阳元
  • 8篇汤雅权
  • 7篇田源
  • 7篇马盛林
  • 7篇张海涛
  • 6篇李博翰
  • 6篇马蔚
  • 6篇王兆江
  • 5篇罗葵
  • 5篇王颖
  • 5篇王玮
  • 4篇田大宇
  • 4篇阮勇
  • 4篇易玉良

传媒

  • 3篇传感技术学报
  • 2篇功能材料与器...
  • 2篇中国微米纳米...
  • 1篇中国优生与遗...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇Journa...
  • 1篇物理学报
  • 1篇北京大学学报...
  • 1篇物理
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇2008年全...
  • 1篇中国第二十届...
  • 1篇中国微米纳米...
  • 1篇第九届全国实...
  • 1篇中国微米、纳...

年份

  • 4篇2024
  • 1篇2023
  • 3篇2022
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
  • 2篇2013
  • 5篇2012
  • 6篇2011
  • 5篇2010
  • 3篇2009
  • 12篇2008
  • 4篇2007
  • 6篇2006
  • 6篇2005
  • 4篇2004
共 79 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
集成微传感器的制备方法
本发明提供了一种基于SOI技术的集成微传感器的制备方法，属于微机电系统和集成电路技术领域。该方法基于Post－CMOS或Intermediate－CMOS工艺，利用SOI CMOS工艺和SOI微机械加工技术，在SOI硅片...
于晓梅汤雅权张海涛王颖王玮
文献传递
面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计被引量：2
2008年
微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化。本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构。基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%。
黄杰西李修函于晓梅
关键词：微泵鳞片
一种单芯片集成三轴力传感器及其制备方法
本发明涉及微机电系统和集成电路技术领域，特别是关于一种单芯片集成式三轴力传感器及其制备方法。集成式三轴力传感器由三轴力传感器和电路系统组成，三轴力传感器由应变体、位于应变体中央的受力体、支撑应变体和受力体的框架、以及嵌入...
于晓梅林聪刘意朱心成
一种制作单晶硅纳米结构的方法
本发明公开了一种制作单晶硅纳米结构的方法，首先根据单晶硅纳米结构的图形在硅衬底上光刻，定义微米级线宽的掩膜图形；然后通过离子注入在掩膜图形外形成重掺杂区域；接着高温退火使注入的离子扩散进入掩膜图形下面的硅材料中，形成中度...
王晓菲于晓梅赵安迪于侃
聚酰亚胺牺牲层工艺的微机械加工技术研究
牺牲层工艺是通过腐蚀或刻蚀牺牲层来制造悬空的梁、膜或空腔结构的技术，广泛应用于MEMS器件与其读出电路的单片集成。可以作为牺牲层的材料主要包括SiN、SiO2和聚酰亚胺，表1为可能的牺牲层与结构层的组合。其中聚酰亚胺材料...
潘程于晓梅马盛林
关键词：聚酰亚胺微机械加工
文献传递
微型扩散泵及其制备方法
本发明提供了一种微型扩散泵及其制备方法，微型扩散泵主要包括：泵腔室、单向阀、泵入口、泵出口及泵腔室内的驱动结构，单向阀分别位于泵腔室与泵入口之间和泵腔室与泵出口之间，单向阀为正反向流量不同的楔形扩散管，泵腔室内流体在一定...
于晓梅李修函张大成张海涛李婷王阳元
文献传递
一种固体介质层谐振器及其制备方法
本发明公开了一种固体介质层谐振器及其制备方法，该固体介质层谐振器的驱动电极和传感电极的极板为梳齿状结构，内嵌在谐振体结构中，谐振体与极板通过固体绝缘介质层隔离。该谐振器的制备基于微机械加工工艺，与IC工艺兼容；梳齿状的极...
刘毅于晓梅
文献传递
一种偏轴太赫兹超表面反射透镜
本发明提供了一种偏轴太赫兹超表面反射透镜，属于太赫兹技术领域。该偏轴太赫兹超表面反射透镜包括按一定规则排布的谐振单元阵列；调整谐振单元的结构和尺寸，使其反射相位在0～2π之间梯度改变；对偏轴太赫兹超表面反射透镜的相位进行...
于晓梅缪佳豪
电容读出式红外焦平面阵列的热力学分析
电容读出式红外探测器由于无需制冷和易于单片集成等优异特性而备受关注。该红外焦平面阵列中的每个像元是一个双材料悬臂梁，他由红外吸收面、双材料支腿、热隔离支腿和锚点组成，双材料支腿和热隔离支腿组成像元的支腿，连接红外吸收面至...
李博翰于晓梅
关键词：红外焦平面阵列噪声等效温差热力学分析红外探测器
文献传递
一种微纳机电器件中纳米间隙电极的制备方法
本发明提供了一种微纳机电器件中纳米间隙电极的制备方法，属于微纳机电系统领域。该方法选用一种合适的材料做牺牲层，首先采用回刻的方式制备纳米尺度的牺牲层侧墙结构，侧墙需要有一定的高度，再淀积一层薄的金属层或其它电极材料，然后...
于晓梅于侃王晓菲
文献传递
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