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6 条 记 录,以下是 1-6
韩安云
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 光刻 移相掩模技术 PEL
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田振文
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 光刻胶 位相差 微光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张倩
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:陶瓷外壳 陶瓷 封装外壳 封装 夹具
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王育中
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 光刻胶 位相差 微光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王维军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 T型栅 光刻胶 位相差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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