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樊照田
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供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
田振文
中国电子科技集团第十三研究所
韩安云
中国电子科技集团第十三研究所
张倩
中国电子科技集团第十三研究所
王育中
中国电子科技集团第十三研究所
王维军
中国电子科技集团第十三研究所
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韩安云
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 光刻 移相掩模技术 PEL
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田振文
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张倩
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:陶瓷外壳 陶瓷 封装外壳 封装 夹具
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王育中
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 光刻胶 位相差 微光刻
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王维军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 T型栅 光刻胶 位相差
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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