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张怀东

作品数：22 被引量：3H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

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领域

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机构

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  • 1个国家科技重大...
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传媒

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  • 1个自动化技术与...
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  • 1个科技经济导刊

地区

  • 13个辽宁省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
郭聪
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体设备 喷嘴 显影机 处理系统 液状
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑春海
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：集成电路制造 晶圆 涂胶 硅片 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王绍勇
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体设备 晶圆 变型 半导体 安全传送
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苗涛
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：集成电路 晶片 AMS 监控系统 移送
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗润福
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：显影 工艺过程 集成电路制造 基片 立式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐春旭
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶圆 药液 半导体制程 化学品 液罐
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张军
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 半导体晶片 控制程序 连接板 轴承座
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘正伟
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：晶片 激光传感器 控制精度 伺服控制系统 光电传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹硕
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体生产设备 半导体 温度均匀性 晶圆 测温
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李东海
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题：半导体晶片 星型结构 六边形 显影 涂胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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