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郭聪

作品数：12 被引量：3H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇半导体
  • 5篇半导体设备
  • 3篇喷嘴
  • 3篇显影机
  • 2篇动载
  • 2篇压装
  • 2篇液状
  • 2篇增压
  • 2篇增压装置
  • 2篇整流
  • 2篇整流装置
  • 2篇喷洒
  • 2篇全自动
  • 2篇均匀性
  • 2篇控制器
  • 2篇风口
  • 2篇风流
  • 2篇风扇
  • 2篇风扇控制
  • 2篇风扇控制器

机构

  • 12篇沈阳芯源微电...

作者

  • 12篇郭聪
  • 6篇张怀东
  • 2篇施强

传媒

  • 1篇中国高新科技

年份

  • 7篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法
本发明涉及一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法。本发明装置包括分风盒，集风口对准供风系统的出风口，对出风口的风进行分流，散风口分别连接电控风扇；电控风扇，为两个，均连接分风盒；风扇控制器，连接电控风扇，用于控制电控风...
郭聪施强
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一种半导体设备用滤风装置
本发明涉及半导体设备供风系统的技术领域，具体地说是一种半导体设备用滤风装置。包括箱体和滤风板，其中箱体内设有多层滤风结构，所述各层滤风结构内均可拆卸地安装有滤风板，所述滤风板上均匀分布有多个滤风孔。所述各层滤风结构内设有...
郭聪胡延兵
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全自动显影机
1．本外观设计产品的名称：全自动显影机。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于晶圆显影制造工艺。;3．本外观设计产品的设计要点：在于产品整体形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
郭聪张怀东
一种半导体设备用滤风整流装置
本发明涉及半导体行业生产领域，具体地说是一种半导体设备用滤风整流装置。该装置设置于供风系统与作业区域之间，包括滤风整流箱和整流板，其中滤风整流箱的一侧面上设有与供风系统相对应的滤风整流箱入风口，所述滤风整流箱的底部均布有...
郭聪胡延兵
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一种半导体设备用滤风整流装置
本发明涉及半导体行业生产领域，具体地说是一种半导体设备用滤风整流装置。该装置设置于供风系统与作业区域之间，包括滤风整流箱和整流板，其中滤风整流箱的一侧面上设有与供风系统相对应的滤风整流箱入风口，所述滤风整流箱的底部均布有...
郭聪胡延兵
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显影工艺及显影喷嘴的应用被引量：3
2018年
集成电路(IntegratedCircuit,IC)的发明与应用是人类科技发展的重要进程之一。随着半导体科技的进步、工艺的提高,对半导体设备的要求也随之提高。作为IC应用大国,我国正以前所未有的力度发展IC产业,为有自己的"中国芯"而大力发展国产半导体设备替代国外设备,而关键工艺中的关键技术更是需要通过沉淀积累来厚积薄发。文章对显影工艺及显影喷嘴的应用进行介绍。
郭聪张怀东
关键词：光刻工艺
一种半导体工艺水保温系统
本发明涉及半导体生产领域，具体地说是一种半导体工艺水保温系统，其中换热装置、换热块、药阀组件以及输出端块上均设有保温水通道和工艺水通道，且所述各部件内的保温水通道依次连通、所述各部件内的工艺水通道依次连通，另外换热块、药...
郭聪张怀东
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一种涂胶显影工艺模块及该模块内环境参数的控制方法
本发明属于半导体技术领域，具体的说是一种涂胶显影工艺模块及该模块内环境参数的控制方法。包括涂胶显影工艺模块箱体、离心涂胶显影工艺腔体，其中涂胶显影工艺模块箱体为封闭式，其内部设有离心涂胶显影工艺腔体，涂胶显影工艺模块箱体...
胡延兵郭聪
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一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法
本发明涉及一种半导体设备用分流增压装置及其控制方法。本发明装置包括分风盒，集风口对准供风系统的出风口，对出风口的风进行分流，散风口分别连接电控风扇；电控风扇，为两个，均连接分风盒；风扇控制器，连接电控风扇，用于控制电控风...
郭聪施强
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一种液体均匀喷洒处理系统及其处理方法
本发明涉及液体处理设备，具体地说是一种液体均匀喷洒处理系统及其处理方法，移动载台沿水平方向往复移动地安装在工作台上，输出端连接有升降台，手臂的一端与升降台的输出端相连，另一端安装有喷嘴部件，喷嘴部件随手臂由升降台驱动升降...
郭聪张怀东胡延兵
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