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任伟
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供职机构:
信息产业部
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电子电信
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合作作者
王萍
信息产业部
廖佐升
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杨基南
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范迎新
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李学文
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范迎新
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:U 等离子体 气相淀积 微组装 化学气相沉积
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杨基南
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:U MOCVD设备 等离子体 气相淀积 太阳能电池产业
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王萍
供职机构:信息产业部
研究主题:U 气相淀积 加入WTO 刻蚀机 等离子体
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廖佐升
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:U 气相淀积 传动系统 ECR 烘干
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李学文
供职机构:信息产业部
研究主题:气相淀积 U
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陈特超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子束 溅射 刻蚀 太阳能电池生产线 扩散炉
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刘亚红
供职机构:信息产业部
研究主题:U 气相淀积 烧结炉
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张军
供职机构:信息产业部
研究主题:移动通信 乘法器 GSM网络 GSM SDH
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肖益波
供职机构:信息产业部
研究主题:U 气相淀积 烧结炉
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肖信
供职机构:信息产业部
研究主题:气相淀积 U
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