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仲维续
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供职机构:
中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
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贺金良
中国航天科技集团公司第九研究院...
张晓雷
中国航天科技集团公司第九研究院...
张思申
中国航天科技集团公司第九研究院...
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张晓雷
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:测量温度 半导体制造工艺 单晶硅片 晶格结构 离子注入
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贺金良
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:测量温度 半导体制造工艺 单晶硅片 晶格结构 离子注入
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张思申
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子注入
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