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鲁向群
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中国科学院
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冯彬
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刘大为
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金振奎
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冯彬
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研究主题:磁控 镀膜设备 磁控溅射 溅射 离子枪
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刘大为
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刘丽华
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李求恕
供职机构:中国科学院
研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 超高真空 高精密 夹持
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