金振奎
- 作品数：6 被引量：0H指数：0
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- 脉冲激光淀积装置
- 本实用新型涉及一种脉冲激光淀积装置。由真空室、转靶机构、样品架、加热炉、离子枪和真空抽气装置组成,其中真空室为球形,转靶机构和样品架分别安装在真空室里,相对设置,在一个中心线上,所述真空室球体上设有多个法兰窗,其中两个法...
- 李求恕冯彬吕祺孙荣昌曾志群潘福全戚晖金振奎阎佐健
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- 超高真空多功能磁控溅射装置
- 本实用新型涉及一种超高真空多功能磁控溅射装置。由主溅射室、进样室、磁力传动机构、超高真空抽气装置和高真空抽气分子泵组成,其中主溅射室为梨形结构,由圆柱形真空室配装一“梨把”,“梨把”下面加装一套超高真空抽气装置,进样室为...
- 李求恕冯彬阎佐健鲁向群吕祺金振奎刘大为刘军戚晖孙荣昌魏吉萍曾志群潘福全郭宝英石长友谭亮周景玉
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- 一种磁控与离子束复合溅射沉积系统
- 本发明公开一种磁控与离子束复合溅射沉积系统，由磁控室、离子束室、磁控溅射靶、基片水冷加热公转台、Kaufman离子枪、四工位转靶、磁力送样机构、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。磁控室和离子束室...
- 郭东民佟辉冯彬刘大为鲁向群金振奎刘丽华
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- 双室磁控与离子束复合溅射沉积系统
- 本实用新型公开一种双室磁控与离子束复合溅射沉积系统，由磁控室、离子束室、磁控溅射靶、基片水冷加热公转台、Kaufman离子枪、四工位转靶、磁力送样机构、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。磁控室和...
- 郭东民佟辉冯彬刘大为鲁向群金振奎刘丽华
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- 一种磁控与离子束复合溅射沉积系统
- 本发明公开一种磁控与离子束复合溅射沉积系统，由磁控室、离子束室、磁控溅射靶、基片水冷加热公转台、Kaufman离子枪、四工位转靶、磁力送样机构、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。磁控室和离子束室...
- 郭东民佟辉冯彬刘大为鲁向群金振奎刘丽华
- 硬碳膜沉积装置
- 本实用新型涉及一种硬碳膜沉积装置。由真空室、泵抽机组等组成,其真空室具有封帽,安装在机架上,与泵抽机组相连,在其封帽上设有放气阀和进气截止阀,上电极在真空室里接地,在真空室底部安装一可水冷的、接RF射频功率电源、由电机驱...
- 李求恕冯彬阎佐健鲁向群孙荣昌金振奎曾志群潘福全郭宝英石长友谭亮
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