2024年11月27日
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马盛林
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供职机构:
北京大学
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合作作者
金玉丰
北京大学
缪旻
北京大学
孙新
北京大学
朱韫晖
北京大学
于晓梅
北京大学微电子学研究院
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金玉丰
供职机构:北京大学
研究主题:通孔 键合 硅 MEMS 芯片
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缪旻
供职机构:北京信息科技大学
研究主题:通孔 TSV 系统级封装 硅 微机械
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孙新
供职机构:北京大学
研究主题:通孔 互连结构 制作方法 红外焦平面阵列 传输性能
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朱韫晖
供职机构:北京大学
研究主题:通孔 键合 互连结构 传输性能 TSV
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于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 MEMS
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朱蕴晖
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 硅晶圆 制作方法 布线 硅
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汤雅权
供职机构:北京大学
研究主题:电极 电容式 谐振器 单片集成 亚微米
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王兆江
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 高深宽比 感应耦合等离子体 锚点
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易玉良
供职机构:北京大学
研究主题:电极 感应耦合等离子体 硅片 刻蚀 多晶硅
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刘毅
供职机构:南开大学
研究主题:皇陵 陵墓 明代 电极 陶瓷
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