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杨增辉

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

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地区

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共 16 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程伟林
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光学元器件 接收器 对接 驱动模块
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱珍梅
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 狭缝 大口径透镜 步进 大行程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任冰强
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光束 照明系统 光阑 焦斑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王振
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：对接 大口径透镜 非平面 防撞装置 多自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙征宇
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大气气溶胶 步进 大行程 循环检测 多自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林栋梁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：狭缝 组件 光刻机 多自由度 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺洪波
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光学薄膜 激光损伤阈值 镀膜 激光损伤 夹具
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张善华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：干涉仪 面形 锥角 图像传感器 移相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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