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钱珍梅

作品数：14 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇中文专利

主题

  • 4篇对接
  • 3篇狭缝
  • 3篇螺钉
  • 2篇大行程
  • 2篇刀片
  • 2篇底板
  • 2篇调整板
  • 2篇照明
  • 2篇照明系统
  • 2篇竖直
  • 2篇锁紧
  • 2篇锁紧螺母
  • 2篇热膨胀
  • 2篇热膨胀系数
  • 2篇主机
  • 2篇组件
  • 2篇连接板
  • 2篇六自由度
  • 2篇螺母
  • 2篇明镜

机构

  • 14篇中国科学院上...

作者

  • 14篇钱珍梅
  • 13篇任冰强
  • 13篇黄惠杰
  • 10篇王振
  • 8篇程伟林
  • 6篇薛佩佩
  • 6篇杨增辉
  • 6篇孙征宇
  • 5篇杨宝喜
  • 4篇陈明
  • 4篇林栋梁
  • 2篇马兴华
  • 2篇李璟
  • 2篇屈建峰
  • 2篇张友宝

年份

  • 4篇2016
  • 3篇2015
  • 5篇2014
  • 2篇2013
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置
一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与...
林栋梁马兴华任冰强程伟林张友宝钱珍梅屈建峰孙征宇黄惠杰
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多自由度调整机构
一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和三个调整螺钉组件，在连接板上三个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
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用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置
一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与...
林栋梁马兴华任冰强程伟林张友宝钱珍梅屈建峰孙征宇黄惠杰
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大口径透镜的调整固定装置
一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同...
薛佩佩杨宝喜陈明李璟任冰强钱珍梅王振黄惠杰
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光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构
一种光刻机照明系统照明镜组单元的调整支撑机构，包含固定在底板上的前端支撑装置、第一后端支撑装置、第二后端支撑装置、连接第一后端支撑装置和第二后端支撑装置的后端支撑，所述前端支撑装置、后端支撑和照明镜组单元固定连接，本发明...
薛佩佩陈明杨宝喜任冰强钱珍梅王振黄惠杰
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高精度的间隔测量装置
一种高精度的间隔测量装置，其特点在于：由基座、固定支架、调节杆、测量杆、2个定位螺母和2个锁紧螺母组成，本发明具有结构简单，操作方便，对环境的要求不高，可以实现高精度的测量。
钱珍梅杨宝喜任冰强黄惠杰
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自动挂靠及简易解锁的对接装置
一种自动挂靠及简易解锁的对接装置，其特点在于：由部件挂钩、防撞装置和主机挂钩组成。本发明具有结构简单、对接方便、定位准确并且安装牢固的自动挂靠及简易解锁的特点。
杨增辉钱珍梅任冰强程伟林王振黄惠杰
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多自由度调整机构
一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和3个调整螺钉组件，在连接板上3个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
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大口径透镜的调整固定装置
一种大口径透镜的调整固定装置，包含一镜框、多个用于大口径透镜径向定位的调整块、一用于大口径透镜轴向固定的弹性压圈、多个调整螺钉和固定螺钉。所述的调整固定装置可调整透镜相对于镜框的径向位置，最终达到使透镜光轴和镜框基准轴同...
薛佩佩杨宝喜陈明李璟任冰强钱珍梅王振黄惠杰
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六自由度调整安装机构
一种六自由度调整安装机构，包括一安装座板、一调整板、三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元，在所述的安装座板与所述调整板之间设置所述的三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元：两个水平调整子单元分布在安装座板长边同一侧面的...
杨增辉钱珍梅任冰强王振程伟林孙征宇黄惠杰
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