程伟林
- 作品数：21 被引量：22H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市科技人才计划项目上海市国际科技合作基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信环境科学与工程更多>>
- 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究被引量：7
- 2018年
- 提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.2%;当校正手指的前端有倒斜角且双层错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.16%,比常规手指阵列式均匀性校正器的校正精度提高约一倍。
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- 关键词：光刻机照明系统
- 扫描干涉场曝光中关键技术的现状与发展趋势被引量：2
- 2015年
- 扫描干涉场曝光(SBIL)在制作大尺寸、纳米精度的衍射光栅中有着独特的优势。为了充分了解SBIL系统的技术特点,介绍了国内外SBIL技术的发展现状,并针对SBIL系统中的各个关键技术进行技术性的调研与总结,着重分析了各关键技术已有解决方法的基本原理、优点以及存在的局限性,结合具体的光栅应用要求,给出了各关键技术的相应具体指标,展望了其发展趋势。
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- 关键词：光栅衍射光栅大尺寸
- 消光式成像椭偏技术研究
- 随着微电子技术的快速发展,薄膜应用领域越来越广,确定薄膜参数对于薄膜特性研究具有很大意义,而椭偏技术是测量薄膜参数最有效的方法之一,具有非破坏性、非接触性以及高测量精度等诸多优点.成像椭偏技术的研究在国内并不成熟,在大视...
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- 光刻机环状多分区高能量利用率光瞳校正研究被引量：3
- 2021年
- 光刻机的照明光瞳性能对曝光图形质量和套刻精度均有重要影响。照明光瞳由光刻机照明系统产生,在光刻机长时间使用后,照明光瞳的性能会逐渐劣化,需要采用光瞳校正手段来改善照明光瞳的性能。本文提出一种径向环状多分区高能量利用率光瞳校正方法,该方法在径向环状多分区方法的基础上优化了常规光瞳校正方法中基准能量的选取方式,可设计出适用于多种照明模式的单一光瞳校正板。在不将光瞳性能校正至零的情况下,该方法可以使得校正后的光瞳性能满足需求,这样可减小由光瞳校正所引起的能量损失。通过对劣化光瞳的校正分析,可以发现:所提方法可将光瞳的性能校正至需求范围内,且与常规光瞳校正方法相比,其可使环形和四极照明模式的能量损失最大值分别由5.54%和3.06%降至2.06%和0.93%,这对提高光刻机的产率具有重要意义。
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- 关键词：光刻照明系统
- 多自由度调整机构
- 一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和三个调整螺钉组件，在连接板上三个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
- 钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
- 文献传递
- 同步转角仪
- 一种同步转角仪，其特征在于由双椭圆规机构和平行四边形机构组合构成，包括基座、第一直线滑动模块、第二直线滑动模块、第三直线滑动模块、第一双椭圆规机构、第二双椭圆规机构、发射源、接收器和驱动模块。该转角仪适用于两组光学元器件...
- 程伟林曾爱军陈明星黄惠杰贺洪波方明
- 文献传递
- 六自由度调整安装机构
- 一种六自由度调整安装机构，包括一安装座板、一调整板、三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元，在所述的安装座板与所述调整板之间设置所述的三个竖直调整子单元和三个水平调整子单元：两个水平调整子单元分布在安装座板长边同一侧面的...
- 杨增辉钱珍梅任冰强王振程伟林孙征宇黄惠杰
- 文献传递
- 光刻机光瞳校正器及其使用方法
- 一种光刻机光瞳校正器及其使用方法，其构成包括滤光元件和致动元件，每个致动元件与至少一个滤光元件相结合，所述的滤光元件是可折叠的，借助所述的致动元件在光瞳面内多维度运动。所述的滤光元件包括固定机构、牵引机构，以及连接在所述...
- 朱思羽张方曾宗顺马晓喆程伟林曾爱军黄惠杰
- 文献传递
- 光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法被引量：6
- 2018年
- 提出了一种光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法。当照明光瞳的部分相干因子发生变化时,该方法的校正手指只需整体在光轴方向进行微调就能使照明光场的均匀性满足要求。仿真分析了校正手指的三维空间移动对照明光场均匀性的影响,并验证了该方法的高效性。
- 程伟林张方张方林栋梁杨宝喜曾爱军
- 关键词：光学设计光刻机照明系统
- 用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置
- 一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与...
- 林栋梁马兴华任冰强程伟林张友宝钱珍梅屈建峰孙征宇黄惠杰
- 文献传递
