林栋梁
- 作品数：11 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市科技人才计划项目上海市国际科技合作基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 多自由度调整机构
- 一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和3个调整螺钉组件，在连接板上3个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
- 钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
- 文献传递
- 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究被引量：7
- 2018年
- 提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.2%;当校正手指的前端有倒斜角且双层错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.16%,比常规手指阵列式均匀性校正器的校正精度提高约一倍。
- 程伟林张方张方林栋梁杨宝喜曾爱军
- 关键词：光刻机照明系统
- 步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置
- 一种步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置，特点在于该装置包括狭缝基框、上组件、下组件、Y向平衡质量系统、右组件、左组件和X向平衡质量系统，本发明在不影响刀口的运动和定位的同时，可完全消除振动力。
- 林栋梁马兴华任冰强陈明黄惠杰
- 刀口半影最小化的光刻机扫描狭缝研究被引量：2
- 2018年
- 扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元,而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先,根据步进扫描光刻机照明原理,通过分析掩模面上光强分布与扫描狭缝刀口厚度及位置的相对关系,推导出掩模面上刀口半影宽度的计算公式,同时针对数值孔径NA为0.75的光刻机照明系统模型分别对非共面和共面扫描狭缝在掩模面上的刀口半影进行仿真分析;研制了一种四刀口共面的高精度扫描狭缝装置,不仅满足步进扫描光刻机的同步性能需求,并且有效减小了X向和Y向的刀口半影;最后对所研制的扫描狭缝动态性能以及掩模面上实际刀口半影进行了测试。结果表明,当最大扫描速度达到470mm/s时,扫描刀口动态跟随误差始终在±30μm以内,同时两个方向的刀口半影均不超过0.5mm,满足90nm分辨率步进扫描光刻机的需求。
- 林栋梁张方张方
- 关键词：光学光刻
- 多自由度调整机构
- 一种多自由度调整机构，自下而上包括固定基座组件、X方向调整组件、Y方向调整组件、连接板和三个调整螺钉组件，在连接板上三个调整螺钉组件呈三角形分布。本发明可实现多个自由度的定位调整，定位精度高，并且操作方便，调整范围大；结...
- 钱珍梅杨增辉任冰强程伟林薛佩佩王振林栋梁孙征宇黄惠杰
- 文献传递
- 支撑光学组件的同步转角机构
- 一种支撑光学组件的同步转角机构，特点在于其构成包括基座、第一菱形机构、第二菱形机构、发射源、接收器以及驱动模块，本发明适用于两组光学元器件绕共同轴同步反向旋转，是一种具有结构简单、装调方便、且共同旋转轴的轴向没有任何装置...
- 程伟林曾爱军陈明星林栋梁杨增辉黄惠杰贺洪波方明
- 文献传递
- 用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置
- 一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与...
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- 文献传递
- 步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置
- 一种步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置，特点在于该装置包括狭缝基框、上组件、下组件、Y向平衡质量系统、右组件、左组件和X向平衡质量系统，本发明在不影响刀口的运动和定位的同时，可完全消除振动力。
- 林栋梁马兴华任冰强陈明黄惠杰
- 文献传递
- 支撑光学组件的同步转角机构
- 一种支撑光学组件的同步转角机构，特点在于其构成包括基座、第一菱形机构、第二菱形机构、发射源、接收器以及驱动模块，本发明适用于两组光学元器件绕共同轴同步反向旋转，是一种具有结构简单、装调方便、且共同旋转轴的轴向没有任何装置...
- 程伟林曾爱军陈明星林栋梁杨增辉黄惠杰贺洪波方明
- 文献传递
- 光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法被引量：6
- 2018年
- 提出了一种光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法。当照明光瞳的部分相干因子发生变化时,该方法的校正手指只需整体在光轴方向进行微调就能使照明光场的均匀性满足要求。仿真分析了校正手指的三维空间移动对照明光场均匀性的影响,并验证了该方法的高效性。
- 程伟林张方张方林栋梁杨宝喜曾爱军
- 关键词：光学设计光刻机照明系统
