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李立杰

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：电子部更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 2个机械工程
  • 2个电子电信

主题

  • 2个氮化
  • 2个氮化硅
  • 2个应力
  • 2个微电子
  • 2个微电子机械
  • 2个微电子机械系...
  • 2个灵敏度
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  • 2个高灵敏
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机构

  • 2个电子部
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传媒

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  • 2个第四届全国微...
  • 1个半导体技术
共 2 条 记 录，以下是 1-2
梁春广
供职机构：电子部
研究主题：PECVD法 PECVD 氮化硅 薄膜应力 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨拥军
供职机构：电子部
研究主题：PECVD法 PECVD 氮化硅 薄膜应力 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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