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张加勇

作品数:38 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信金属学及工艺一般工业技术电气工程更多>>

领域

  • 10个电子电信
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  • 3个电气工程
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主题

  • 10个纳米
  • 10个刻蚀
  • 10个干法刻蚀
  • 9个相变存储
  • 9个相变存储器
  • 8个电极
  • 8个电子束曝光
  • 8个淀积
  • 8个湿法腐蚀
  • 8个量子
  • 8个量子点
  • 8个光刻
  • 8个光刻胶
  • 7个掩模
  • 7个自对准
  • 7个纳米线
  • 6个移植性
  • 6个制备金属
  • 6个线宽
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机构

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  • 1个大连铁道学院
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  • 1个中国科学院微...
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  • 1个中国科学院西...
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资助

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  • 5个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个天津市应用基...
  • 3个国家电网公司...
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传媒

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  • 3个半导体技术
  • 3个激光与光电子...
  • 3个光子学报
  • 3个发光学报
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  • 2个物理学报
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  • 1个现代化工
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  • 1个振动.测试与...

地区

  • 11个北京市
11 条 记 录,以下是 1-10
杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马慧莉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 相变材料 淀积 纳米尺寸 抛光表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程凯芳
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 纳米尺寸 相变材料 淀积 抛光表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
季安
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:湿法腐蚀 MEMS压力传感器 干法刻蚀 自对准 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付英春
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 自对准 相变材料 干法刻蚀 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田晓丽
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米尺寸 相变存储器 淀积 电子束曝光 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白云霞
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:干法刻蚀 自对准 电子束曝光 可调谐光滤波器 移植性
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梁秀琴
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:干法刻蚀 自对准 电子束曝光 光刻胶 SIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐晓娜
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:存储器 充电状态 二维电子气 抗蚀剂 动态随机存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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