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刘松

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 1个自动化与计算...

主题

  • 8个TSV
  • 7个盲孔
  • 7个晶圆
  • 6个子层
  • 5个电镀
  • 5个通孔
  • 5个清洗方法
  • 5个清洗液
  • 5个去离子
  • 5个去离子水
  • 5个阻挡层
  • 5个埋氧层
  • 4个单步
  • 4个电流
  • 4个电流电压
  • 4个电流电压表
  • 4个电压
  • 4个电压表
  • 4个对准标记
  • 4个重掺杂

机构

  • 8个中国航天科技...

资助

  • 1个中国人民解放...

传媒

  • 1个电子工艺技术

地区

  • 8个陕西省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
单光宝
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙有民
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢成民
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：晶体管 硅 大容量 存储芯片 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李翔
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 绝缘工艺 芯片面积 绝缘层 SOI衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张巍
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV SOI衬底 RDL 硅晶圆 光刻分辨率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁海
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV RDL 硅晶圆 光刻分辨率 胶层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杜欣荣
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV SOI衬底 刻蚀 晶圆 盲孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺欣
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV SOI衬底 绝缘层 晶圆 盲孔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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