2024年12月13日
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陈振知
作品数:
5
被引量:2
H指数:1
供职机构:
华中科技大学机械科学与工程学院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
机械工程
医药卫生
自动化与计算机技术
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合作作者
刘胜
华中科技大学机械科学与工程学院
张鸿海
华中科技大学机械科学与工程学院
胡程志
华中科技大学机械科学与工程学院
高鸣源
华中科技大学机械科学与工程学院
甘志银
华中科技大学机械科学与工程学院
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张鸿海
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 宽范围 扫描探针显微镜 MEMS
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刘胜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
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供职机构
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研究领域
胡程志
供职机构:华中科技大学
研究主题:硅 胶囊内窥镜 刻蚀 聚对二甲苯 硅器件
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
高鸣源
供职机构:华中科技大学
研究主题:硅 胶囊内窥镜 刻蚀 聚对二甲苯 硅器件
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供职机构
所获资助
研究领域
甘志银
供职机构:华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题:真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
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