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高鸣源

作品数：9 被引量：2H指数：1
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：医药卫生自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇医药卫生

主题

  • 4篇聚对二甲苯
  • 4篇刻蚀
  • 4篇互连
  • 4篇硅
  • 3篇胶囊内窥镜
  • 2篇导航
  • 2篇导航仪
  • 2篇永久磁铁
  • 2篇运动控制
  • 2篇运动控制系统
  • 2篇通孔
  • 2篇位置控制
  • 2篇介电
  • 2篇介电材料
  • 2篇控制系统
  • 2篇互连结构
  • 2篇基板
  • 2篇机械运动
  • 2篇硅器件
  • 1篇单孔

机构

  • 8篇华中科技大学

作者

  • 8篇高鸣源
  • 7篇胡程志
  • 7篇刘胜
  • 5篇吴一明
  • 2篇张鸿海
  • 2篇陈振知
  • 1篇张璇

年份

  • 1篇2011
  • 5篇2010
  • 2篇2009
共 9 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法，步骤为：①在基板上刻蚀盲孔；②在基板上沉积一层图案化介电质层；③刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁的介电材料，在基板上形成介电质孔；④在介电质孔上沉积...
刘胜高鸣源胡程志吴一明
文献传递
用于胶囊内窥镜检测的磁导航式运动控制系统
本发明公开了一种用于胶囊内窥镜检测的磁导航式运动控制系统，可以实现胶囊内窥镜在消化道内的运动控制和位置控制。系统包括受检者支撑部、磁装配体、磁支撑座和伺服控制单元。磁装配体采用永久磁铁和机械运动产生一个准静态磁场，实现对...
刘胜高鸣源陈振知胡程志张鸿海
文献传递
一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔...
刘胜高鸣源胡程志吴一明
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磁导式胶囊内窥镜力学建模与系统研制
无线胶囊内窥镜检测是近十年来发展起来的医疗无创诊断技术，通过一个集成LED照明芯片、成像装置、无线传输模块以及功率源的具有普通药丸大小的可吞服胶囊内窥镜，在人体肠胃道内执行病灶检测，并将肠胃图像无线传输到外围接收装置，由...
高鸣源
关键词：系统设计
用于胶囊内窥镜检测的磁导航式运动控制系统
本发明公开了一种用于胶囊内窥镜检测的磁导航式运动控制系统，可以实现胶囊内窥镜在消化道内的运动控制和位置控制。系统包括受检者支撑部、磁装配体、磁支撑座和伺服控制单元。磁装配体采用永久磁铁和机械运动产生一个准静态磁场，实现对...
刘胜高鸣源陈振知胡程志张鸿海
一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔...
刘胜高鸣源胡程志吴一明
文献传递
一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法，步骤为：①在基板上刻蚀盲孔；②在基板上沉积一层图案化介电质层；③刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁的介电材料，在基板上形成介电质孔；④在介电质孔上沉积...
刘胜高鸣源胡程志吴一明
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基于柔性印刷电路板的胶囊内窥镜
基于柔性印刷电路板的胶囊内窥镜，属于微机电系统所构成的器件，解决现有胶囊内窥镜单个功能部件占有体积过大或者需要定制专用芯片，导致成本高昂的问题。本实用新型包括胶囊、柔性印刷电路板以及裸芯片和无源器件，键合有裸芯片和无源器...
刘胜吴一明高鸣源胡程志张璇
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