2024年12月4日
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李琳
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
张琦辉
中国科学院微电子研究所
丁明正
中国科学院微电子研究所
傅剑宇
中国科学院微电子研究所
张永奎
中国科学院微电子研究所
朱慧珑
中国科学院微电子研究所
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张琦辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掺杂 半导体器件 热退火 超浅结 氧化物薄膜
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丁明正
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 硅基 击穿电压 暗电流 晶圆
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卢维尔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:超浅结 靶材 分子 离子源 冷却装置
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研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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刘金彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
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张浩
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:正交频分 正交频分复用 压缩采样 OFDM系统 柔性衬底
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贺晓彬
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
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