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李永红
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供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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电子电信
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合作作者
刘凯文
中国电子科技集团公司第四十五研...
王洪建
中国电子科技集团公司第四十五研...
张伟锋
中国电子科技集团公司第四十五研...
段成龙
中国电子科技集团公司第四十五研...
曹颖杰
中国电子科技集团公司第四十五研...
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王洪建
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:湿法工艺 氧 氮化 集成电路 湿法
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段成龙
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:湿法刻蚀 CAE分析 CAE 化学清洗 全自动
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张玮琪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:可编程控制器 切片机 电气故障 以太网控制 K金
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张伟锋
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶圆 喷镀 电镀 MEMS传感器 石英晶体
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所获资助
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曹颖杰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:机械手 全自动 喷镀 电镀 圆片级
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刘凯文
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:以太网控制 ETHERCAT 分布式运动控制 浸泡 自动化技术
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