王洪建
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- EtherCAT分布式运动控制系统在湿化学设备中的应用
- 2020年
- 为解决传统控制系统控制结构封闭,兼容性差以及缺乏网络通信功能等弊端,满足湿化学设备在行业应用中的自动化和智能化需求,将以太网控制自动化技术应用于设备控制架构,搭建应用平台,构建适用于湿化学设备的分布式运动控制系统。简化了网络拓扑配置,提高了系统运动控制的实时性,满足设备应用需求,提升设备在行业应用中的适应性和扩展性。
- 王洪建刘凯文李永红何川张玮琪
- 关键词：分布式运动控制
- SiC功率器件制造中的湿法工艺设备研究
- 2022年
- 简述了SiC功率器件制造工艺流程,对常用的抛光片清洗、RCA清洗、SPM湿法去胶、有机去胶、SiO2腐蚀、金属腐蚀和金属剥离等湿法设备进行了应用研究,对于提升SiC功率器件成品率起着重要的作用。
- 宋文超贾祥晨李家明王洪建刘广杰
- 集成电路湿法工艺与湿法设备制造技术研究被引量：1
- 2022年
- 简述了集成电路制造中的湿法工艺,重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺,并对槽式湿法设备的关键制造技术进行了讲解。
- 宋文超李家明贾祥晨刘广杰王洪建
- 关键词：集成电路湿法工艺
- 基于先进封装的硅通孔镀铜工艺仿真分析
- 2023年
- 在硅通孔镀铜填充中,形成的空洞或缝隙都会导致芯片出现严重的质量问题。通过仿真分析促进剂和抑制剂对硅通孔镀铜填充过程的影响,在没有添加剂加入,或者单独加入加速剂或抑制剂都无法实现硅通孔镀铜完全填充,而通过加速剂和抑制剂的合理配比,可以实现硅通孔无缺陷完全填充,为工艺验证和设备研发提供理论支持。
- 魏红军陈苏伟王洪建
- 关键词：先进封装电镀
