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孙勇
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7
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王迪平
中国电子科技集团公司第四十八研...
伍三忠
中国电子科技集团公司第四十八研...
罗宏洋
中国电子科技集团公司
邱小莎
中国电子科技集团公司第四十八研...
王玮琪
中国电子科技集团公司
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王迪平
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:大角度离子注入机 集散式控制 控制系统 均匀性 子控制器
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罗宏洋
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:离子注入机 控制系统 层次状态机 状态机 有限状态机
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伍三忠
供职机构:国防科学技术大学
研究主题:大角度离子注入机 离子注入机 控制系统 离子源 强流氧离子注入机
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龙娟
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:控制系统 离子注入机 氧含量 巡回检测 分析仪
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邱小莎
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 大角度离子注入机 控制器 控制方法
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王玮琪
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:大角度离子注入机 控制系统 软件设计 软件结构
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