罗宏洋
- 作品数：7 被引量：6H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 氮窑氧含量巡回检测分析仪程序设计
- 2002年
- 介绍了一种新型的氧含量检测设备及其程序设计。描述了该设备中使用的监控程序设计算法 ,该算法吸收并改进了多种流行的监控程序编写算法 ,实践表明 ,该算法用于复杂菜单设计时可节约编程时间 。
- 罗宏洋汤辉龙娟
- 关键词：氧含量程序设计监控程序
- 离子束溅射镀膜机电源的研制
- 本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案,并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计.测试结果表明:该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求,现场运行稳定可靠.
- 邹春艳罗宏洋杨建生
- 关键词：短路保护光电隔离
- 文献传递
- 大角度离子注入机控制系统软件设计被引量：1
- 2009年
- 大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。
- 罗宏洋孙勇王玮琪
- 关键词：大角度离子注入机软件结构
- 强流氧离子注入机装卸片控制系统被引量：1
- 2009年
- 介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。
- 罗宏洋汤辉龙娟
- 关键词：离子注入机微粒污染全自动
- 状态机在离子注入机中的应用被引量：4
- 2009年
- 报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因,以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点。
- 罗宏洋
- 关键词：有限状态机层次状态机
- 采用单片机控制的真空控制器
- 本文介绍了一种采用单片机控制的新型真空控制器.离子注入机真空系统复杂,为适应自动化控制的发展要求,真空控制器除了必须具备手动控制和执行上位机控制指令的功能外,还要具备通讯接口标准化、可靠性高、成本低等特点.采用8032单...
- 邹春艳伍三忠罗宏洋
- 关键词：单片机现场工业总线
- 文献传递
- 光学编码器在离子注入机中的应用
- 2004年
- 具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其在控制系统中的应用,分析了其引起系统位置偏差及故障的原因。
- 孙勇罗宏洋龙娟
- 关键词：光学编码器离子注入机大规模集成电路机电一体化控制系统
