邱小莎
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺冶金工程更多>>
- 电子束曝光机电定位控制系统脱机连调初探
- 1990年
- 本文介绍了在电子束曝光机中,电定位系统脱离电子束曝光机进行单独调试的一种方法,同时给出一组数学表达式和实验数据。这种方法采用通用仪器和设备,简便有效。
- 邱小莎
- 关键词：电子束曝光机控制系统
- 快速退火炉热源及其温度均匀性设计被引量：1
- 2009年
- 根据快速退火炉加热系统的组成,利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素。在此基础上提出了热源分区的设计思想。
- 龙会跃李岳邱小莎钟新华
- 关键词：晶片功率密度
- LC19离子注入机控制方法及主控制器原理分析被引量：3
- 2005年
- 为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠。LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控制系统反应迅速、高效、稳定、可靠之间的矛盾。其主控制器的设计采用双端口存储器传递主控制计算机的命令,实现对各子控制系统的控制,其原理简单,但很好地解决了主从式集中控制方法中信息高速传递的难题。计算机与主控制器间采用8位总线送数,主控制器与子控制器之间采用高速串口送数。主控制计算机可向双端口存储器的A,B两区交替发送命令。而且,主从控制器之间采用了巧妙的通讯监控方法,一旦发生通讯故障,子控制器就会清"0"复位,避免机器失控。介绍了主从式集中控制的硬件及其特点,分析了主控制器的设计原理,说明了其软件流程,简述了其调试结果。
- 邱小莎伍三忠孙勇
- 关键词：大角度离子注入机控制器异常处理
- 电子束曝光机用单标记进行误差检测及修正
- 1993年
- 要对电子束扫描场畸变进行修正,首先要进行扫描场畸变的测量。我们采用单标记进行电子束扫描场畸变测量,有其独特的优点。本文介绍了我们的检测方法和通过曝版所观察到的修正效果。
- 邱小莎曾岳阳计加敏
- 关键词：电子束曝光机
