您的位置： 专家智库 > >

陈明勇

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 8个机械工程
  • 8个电子电信
  • 8个自动化与计算...
  • 8个理学
  • 6个一般工业技术
  • 5个电气工程
  • 5个文化科学
  • 4个生物学
  • 3个动力工程及工...
  • 2个经济管理
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个医药卫生
  • 1个天文地球
  • 1个金属学及工艺
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个核科学技术
  • 1个农业科学
  • 1个自然科学总论

主题

  • 8个掩模
  • 8个衍射
  • 7个单点
  • 7个调焦
  • 7个调平
  • 6个等离子体
  • 5个电机
  • 5个电子束曝光
  • 5个电子束曝光机
  • 5个调制
  • 4个单幅
  • 4个等离子体波
  • 4个电路
  • 4个电路控制
  • 3个单片
  • 3个单片机
  • 3个导轨
  • 3个导数
  • 3个底面对准
  • 3个电池

机构

  • 8个中国科学院
  • 5个中国科学院研...
  • 2个电子科技大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个天津大学
  • 1个西南科技大学
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...

资助

  • 8个国家高技术研...
  • 8个国家自然科学...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个中国科学院“...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个成都市科技攻...
  • 2个中国科学院西...
  • 2个四川省教育厅...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个四川省教育厅...
  • 1个广州市科技计...
  • 1个公益性行业科...
  • 1个国防科工局核...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个四川省杰出青...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国气象局气...
  • 1个中加国际科技...

传媒

  • 7个光学学报
  • 7个微纳电子技术
  • 6个光电工程
  • 6个电子工业专用...
  • 5个中国激光
  • 5个四川大学学报...
  • 5个微细加工技术
  • 3个现代科学仪器
  • 3个电子技术应用
  • 3个激光与光电子...
  • 3个光子学报
  • 3个第十一届全国...
  • 3个2013‘全...
  • 3个2010(第...
  • 2个红外与激光工...
  • 2个半导体技术
  • 2个制造技术与机...
  • 2个计量技术
  • 2个机械设计与制...
  • 2个计算机应用

地区

  • 6个四川省
  • 1个西藏
  • 1个广东省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旺富
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐峰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射 掩模 反馈控制 硅片 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐锋
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0