杨勇
- 作品数：72 被引量：65H指数：5
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 基于表面等离子体的微纳光刻技术被引量：1
- 2008年
- 首先介绍了光刻技术的发展及其面临的挑战。随着纳米加工技术的发展,纳米结构器件必将成为未来集成电路的基础,而纳米光刻技术是纳米结构制作的基础,基于表面等离子体的纳米光刻作为一种新兴技术有望突破45nm节点从而极大提高光刻的分辨力。介绍了表面等离子体的特性,对表面等离子体(SPs)在光刻中的应用作了回顾和分析,指出在现有的利用表面等离子体进行纳米光刻的实验装置中,或采用单层膜的超透镜(Superlens),或采用多层膜的Super-lens,但都面临着如何克服近场光刻这一难题;结合作者现有课题分析了表面等离子体光刻的发展方向,认为结合多层膜的远场纳米光刻方法是表面等离子体光刻的发展方向。
- 杨勇胡松姚汉民严伟赵立新周绍林陈旺富蒋文波李展
- 关键词：表面等离子体纳米光刻倏逝波
- 一种位相型光子筛
- 位相型光子筛，是由传统菲涅尔波带片结构改进而成。它是由随机分布在菲涅尔波带片透光和不透光环带上的小孔组成，其中透光环带上的小孔和不透光环带上的小孔之间有π位相差，位相差由精确控制各环带的刻蚀深度来实现。位相型光子筛的制作...
- 蒋文波胡松赵立新徐锋邢嶶杨勇严伟
- 一种接近式纳米光刻中的间隙测量方法
- 一种接近式纳米光刻中的间隙测量方法，主要针对纳米压印、波带片阵列成像等纳米制造技术中的掩模硅片间隙控制。其基本过程可由图1简单说明：入射平面波透过两个周期接近、以一定间隙重叠的硅片光栅与掩模光栅并发生多次衍射，来自于两个...
- 周绍林胡松唐小萍赵立新杨勇徐锋陈旺富陈明勇
- 文献传递
- 一种光闸莫尔条纹焦面检测方法
- 本发明是一种光闸莫尔条纹焦面检测系统，用于投影光刻机非接触快速焦面检测，该装置包括照明光源、扩束准直镜组、第一光栅、第一远心成像镜组、第二远心成像镜组、第二光栅、聚光镜、光电检测单元和硅片组成，该系统基于三角测量的基本原...
- 严伟李艳丽杨勇王建陈铭勇邸成良
- 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量被引量：14
- 2018年
- 提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量误差,精度较低。相位形貌虽然能够实现较高精度的表面形貌测量,但存在2π模糊问题。因此采用相干信息与相位信息相结合的方式来消除相位信息中的2π模糊。此外,针对由背景噪声和光源扰动所引起的局部相位突变,提出了相邻像素点差分分析方法,有效消除了局部相位突变,从而提高了测量的稳定性。该方法不需要复杂的计算,工作效率较高。分别从理论和实验两个方面进行分析,以验证提出方法的有效性。
- 邓钦元唐燕唐燕周毅胡松
- 关键词：白光干涉
- 一种可调光束能量衰减装置
- 本发明是一种光束能量可调衰减装置，放置于投影光刻机中光源和照明系统之间，第一平板玻璃与第二平板玻璃相对放置，使得入射光束经过第一平板玻璃和第二平板玻璃后产生所需强度的输出光束输入到照明系统当中。第一平板玻璃与第二平板玻璃...
- 李艳丽胡松严伟王建邢薇杨勇陈铭勇
- 一种逆向照明接近接触纳米光刻装置
- 一种逆向照明接近接触纳米光刻装置包括：基片、光刻胶、金属掩模版和均匀准直照明系统；在基片上面涂有光刻胶，在光刻胶接近接触放置金属掩模版，当均匀准直照明系统逆向照明，从基片侧向入射到基片上，在光刻胶和金属掩模版之间由于介电...
- 杨勇胡松姚汉民唐小萍邢薇赵立新张春梅严伟
- 文献传递
- 一种简易紫外纳米压印光刻装置
- 本发明公开了一种简易紫外纳米压印光刻装置，包括气动压印系统、紫外照明系统、气控系统、电控系统和壳体。气动压印系统通过球头紧锁螺钉定位夹紧及弹性薄膜均匀布压，保证了压印过程中图案转移的横纵向精准度；紫外照明系统通过紫外LE...
- 兰俊刘锡杨勇陈磊余斯洋龚健文赵立新胡松
- 文献传递
- 一种基于莫尔条纹相位分析的应变测量方法
- 本发明公开了一种基于莫尔条纹相位分析的应变测量方法，利用光栅结构产生莫尔条纹结构的机理，将物体结构的应变转化为莫尔条纹的形态变化，通过相位解析的方式确定物体结构的应变量。应变测量过程中平行光垂直入射到物光栅标记G1上，光...
- 周毅邓钦元司新春刘俊伯程依光杨勇高洪涛胡松
- 文献传递
- 一种动镜轴向微调装置
- 本发明是一种动镜轴向微调装置，所述装置包括：第一组柔性铰链、第二组柔性铰链、第三组柔性铰链、动镜框、外圆柱面、第一安装槽、第二安装槽和第三安装槽，采用第一组柔性铰链、第二组柔性铰链和第三组柔性铰链结构相同且相互独立的柔性...
- 邢薇赵立新胡松王建杨勇
- 文献传递
