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罗四维
作品数:
5
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H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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相关领域:
电子电信
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机械工程
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合作作者
刘玉贵
中国电子科技集团第十三研究所
王维军
中国电子科技集团第十三研究所
丁奎章
中国电子科技集团第十三研究所
罗蓉
中国电子科技集团第十三研究所
周瑞
中国电子科技集团第十三研究所
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王维军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 T型栅 光刻胶 位相差
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所获资助
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刘玉贵
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:T型栅 电子束曝光 断点 微电子器件 电子束光刻
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丁奎章
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:半导体器件 自对准 T形栅 T型栅 腐蚀速率
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杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
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罗蓉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅 MEMS 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
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供职机构
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周瑞
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:功率器件 击穿电压 肖特基势垒 ALGAAS/GAAS 微波功率器件
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