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6 条 记 录,以下是 1-6
王维军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:移相掩模 T形栅 T型栅 光刻胶 位相差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉贵
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:T型栅 电子束曝光 断点 微电子器件 电子束光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁奎章
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:半导体器件 自对准 T形栅 T型栅 腐蚀速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨拥军
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗蓉
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅 MEMS 深刻蚀 玻璃衬底 SOI材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周瑞
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:功率器件 击穿电压 肖特基势垒 ALGAAS/GAAS 微波功率器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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