周瑞 作品数:27 被引量:21 H指数:3 供职机构: 中国电子科技集团第十三研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 上海市浦江人才计划项目 更多>> 相关领域: 电子电信 一般工业技术 机械工程 自动化与计算机技术 更多>>
高选择比混合叠层屏蔽膜的制备方法 本发明公开了一种等离子增强化学气相淀积工艺中高选择比混合叠层屏蔽膜的制备方法,其采用下述工艺步骤:(1)采用等离子增强化学气相淀积法淀积Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>层或SiO<Sub>2</Su... 李亮 霍玉柱 周瑞 李丽亚 严锐文献传递 太阳电池用多晶硅铸锭中非金属夹杂物的研究进展 被引量:1 2020年 多晶硅广泛应用于太阳电池领域。多晶硅铸锭的结晶质量决定了后续晶锭的加工和光伏组件的性能及寿命。碳化硅和氮化硅是多晶硅铸锭中最常见的两种非金属夹杂物。系统概述了多晶硅铸锭中氮化硅及碳化硅的形貌特征、微观分布形态及宏观分布规律等研究进展,介绍了两种夹杂物的伴生过程。根据多晶硅铸锭的生长条件,探讨了其中的碳和氮元素的来源及碳化硅和氮化硅夹杂物对多晶硅铸锭加工过程的影响。最后,从生长条件及工艺方法等方面分析了关于抑制和消除碳化硅和氮化硅夹杂物的研究进展情况。 周瑞 王书杰 王书杰 孙聂枫 邵会民 刘惠生 邵会民关键词:晶体生长 太阳电池 半导体材料 基于MOCVD技术的长波AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器 采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs量子阱红外探测器(QWIP)单元测试器件和128×128、128×160和256×2... 李献杰 刘英斌 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖关键词:MOCVD技术 量子阱红外探测器 红外热成像 文献传递 110 GHz在片16项误差模型校准件定值方法研究 被引量:4 2021年 现有商用集总参数校准件电路模型使用简便,但由于校准件电路模型的不完善、电路中参数在提取过程中采用拟合算法等原因,导致其定值准确度受限。从用于高频串扰修正的16项误差模型校准件设计入手,给出了校准件高精度的定值方法——即通过研制辅助的Multiline TRL校准标准,采用测试加仿真的方式对校准件进行定值,并采用定值文件作为定值样式。采用定值过的16项误差模型校准件校准在片测试系统,并与美国NIST基于Multiline TRL的二次校准方法比较,在110 GHz内,两者S21相差在0.30 dB以内,相位相差1°以内。所不同的是,16项误差模型校准件的个数远低于NIST,并且在校准过程中不需要移动探针。在保证准确度的前提下,大大提高了测试效率。 王一帮 周瑞 陈婷 吴爱华 刘晨 梁法国关键词:计量学 在片测试 串扰 20W X波段GaN MMIC的研究 被引量:2 2009年 张志国 王民娟 冯志红 周瑞 胡志富 宋建博 李静强 蔡树军关键词:MMIC 微波单片集成电路 X波段 微波功率器件 微带电路 电路形式 半导体器件栅凹槽与N<Sup>+</Sup>凹槽自对准加工方法 本发明公开了一种半导体器件栅凹槽与N<Sup>+</Sup>凹槽自对准加工方法,它涉及半导体器件的工艺制备方法。它采用普通的工艺设备,采用一次光刻、两次腐蚀介质的工艺过程,制造得到栅凹槽自动位于N<Sup>+</Sup>... 丁奎章 冯震 王民娟 李岚 周瑞 张雄文 吴阿惠 张务永 焦艮平 邢东文献传递 GaN微波器件T型栅的制作方法 本发明公开了一种GaN微波器件的T型栅的制作方法,其包括下述步骤:①在GaN基片上生长高温介质层,所述高温介质层的成分为Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>;②在上述高温介质层的上表面生长低温介质层,所... 王勇 李亮 秘瑕 彭志农 周瑞 蔡树军9μm截止波长128×128AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列(英文) 被引量:4 2006年 报道了128×128 Al GaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列的设计和制作.采用金属有机化学气相淀积外延技术生长外延材料,并在GaAs集成电路工艺线上完成工艺制作.为得到器件参数,设计制作了台面尺寸为300μm×300μm的大面积测试器件;77K下2V偏压时暗电流密度为1·5×10-3A/cm2;80K工作温度下,器件峰值响应波长为8·4μm,截止波长为9μm,黑体探测率DB*为3·95×108(cm·Hz1/2)/ W.将128×128元Al GaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列芯片与相关CMOS读出电路芯片倒装焊互连,在80K工作温度下实现了室温环境目标的红外热成像,盲元率小于1%. 李献杰 刘英斌 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖关键词:ALGAAS/GAAS 量子阱红外探测器 红外热成像 基于MOCVD技术的长波AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器 被引量:10 2007年 采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流和傅里叶红外响应光谱对单元测试器件进行了评估,针对不同材料结构,实现了9μm和10.9μm的截止波长;黑体探测率最高达到2.6×109 cm.Hz1/2.W-1。将128×128 AlGaAs/GaAs QWIP阵列芯片与CMOS读出电路芯片倒装焊互连,成功演示了室温环境下目标的红外热成像;并进一步讨论了提高QWIP组件成像质量的途径。 李献杰 刘英斌 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖关键词:MOCVD ALGAAS/GAAS 量子阱红外探测器 放大器芯片 本发明提供了一种放大器芯片,该放大器芯片包括:堆叠集成的第一芯片和多层PCB基板;所述第一芯片上印制有放大器电路,所述多层PCB基板的各个偶数层基板上印制有子滤波电路,各个偶数层基板上印制的子滤波电路串联构成滤波电路;所... 赵瑞华 卜爱民 由利人 王磊 白锐 宋学峰 徐达 李丰 汤晓东 周瑞 胡松祥 马伟宾 郝俊祥 王亚君 杨旭达