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汤德余

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

领域

  • 2个电子电信
  • 1个经济管理
  • 1个电气工程

主题

  • 4个等离子刻蚀
  • 4个气相沉积
  • 4个离子刻蚀
  • 4个刻蚀
  • 4个化学气相
  • 4个化学气相沉积
  • 4个溅射
  • 4个反应离子
  • 4个反应离子刻蚀
  • 4个半导体
  • 4个半导体工艺
  • 4个半导体工艺设...
  • 4个半导体制造
  • 4个半导体制造工...
  • 3个电路
  • 3个性能分析
  • 3个结构形式
  • 3个刻线机
  • 3个集成电路
  • 3个盒式

机构

  • 4个中国科学院上...
  • 1个华东理工大学

传媒

  • 3个中国真空学会...
  • 1个Journa...
  • 1个核技术
  • 1个激光杂志
  • 1个功能材料与器...

地区

  • 4个上海市
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严金龙
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SI 反应离子刻蚀 ISOLATION 硅 SILICON
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡根寿
供职机构：华东理工大学
研究主题：反应离子刻蚀 光致抗蚀剂 微电子学 紫外激光 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈国雄
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁控溅射 超大规模集成电路 半导体制造工艺 半导体工艺设备 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴钰铭
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：磁控溅射 半导体制造工艺 半导体工艺设备 反应离子刻蚀 化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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