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陈福山
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西安微电子技术研究所
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相关领域:
电子电信
电气工程
自动化与计算机技术
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合作作者
殷小莉
西安微电子技术研究所
王军峰
西安微电子技术研究所
单光宝
西安微电子技术研究所
李兴凯
西安微电子技术研究所
刘佑宝
西安微电子技术研究所
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殷小莉
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:CR SIO 薄膜电阻器 溅射法制备 HIC
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所获资助
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王军峰
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:CR SIO 薄膜电阻器 溅射法制备 HIC
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李兴凯
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS器件 微机械陀螺仪 封装 武器
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供职机构
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刘佑宝
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:砷化镓 MESFET SOI 模型参数 PD_SOI
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单光宝
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS TSV 硅微加速度计 MEMS器件 掩膜
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