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肖海波

作品数：6 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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地区

  • 8个上海市
  • 1个江苏省
共 9 条 记 录，以下是 1-9
张峰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：注氧隔离 SOI 高温退火 波导 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林志浪
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：波导 反应离子刻蚀 原位合成 烧结助剂 制作方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王永进
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：波导 反应离子刻蚀 制作方法 掺ER 沉积速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹世昌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程新利
供职机构：苏州科技大学
研究主题：非晶薄膜 极板 敏感元件 谐振电抗器 FE-ZR-B
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈志君
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：掺ER 波导 ER 反应离子刻蚀 光致发光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张昌盛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：掺ER ER 富硅氧化硅 光致发光 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹共柏
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 波导 各向异性腐蚀 绝缘埋层 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张福民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 离子束辅助沉积 离子束 过渡金属催化剂 场发射显示器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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