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杨拥军

作品数：2 被引量：28H指数：1
供职机构：电子部更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 2个化学工程
  • 2个机械工程

主题

  • 3个氮化
  • 3个氮化硅
  • 3个应力
  • 3个薄膜应力
  • 3个PECVD
  • 3个PECVD法
  • 2个电镀
  • 2个电镀工艺
  • 2个扫描电子显微...
  • 2个微电子
  • 2个微电子机械
  • 2个微电子机械系...
  • 2个灵敏度
  • 2个敏度
  • 2个加速度
  • 2个加速度计
  • 2个高灵敏
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  • 1个单片
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机构

  • 4个电子部
  • 2个中国电子科技...
  • 2个中国电子科技...
  • 1个台湾交通大学
  • 1个西安电子科技...
  • 1个电子工业部
  • 1个信息产业部

传媒

  • 3个半导体情报
  • 3个Journa...
  • 2个半导体技术
  • 2个第四届全国微...
  • 1个电子显微学报
  • 1个电子器件
  • 1个中国电子科学...
  • 1个2010’全...
  • 1个第二届全国扫...
  • 1个第二届全国扫...

地区

  • 1个河北省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
梁春广
供职机构：电子部
研究主题：PECVD法 PECVD 氮化硅 薄膜应力 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李立杰
供职机构：电子部
研究主题：干法刻蚀 硅尖 隧道 湿法刻蚀 高灵敏度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永军
供职机构：电子部
研究主题：PECVD法 PECVD 氮化硅 薄膜应力 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王民娟
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MMIC GAN 低噪声放大器 GAAS GAAS_MMIC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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