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孙荣昌
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中国科学院
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金振奎
中国科学院
阎佐健
中国科学院
潘福全
中国科学院
曾志群
中国科学院
李求恕
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金振奎
供职机构:中国科学院
研究主题:溅射 离子枪 磁控溅射靶 磁控 离子束
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阎佐健
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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潘福全
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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曾志群
供职机构:中国科学院
研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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李求恕
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吕祺
供职机构:中国科学院
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