李求恕
- 作品数：9 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程更多>>
- 离子束溅射镀膜机
- 本实用新型涉及一种离子束溅射镀膜装置。由镀膜室、离子枪、旋转靶、衬底夹持架等组成,镀膜室为圆筒形,离子枪位于镀膜室顶部,镀膜室中部倾斜45°角安装旋转把,离子枪引出栅轴心线与旋转把一面靶材中心点位于同一垂直轴线上,镀膜室...
- 李求恕王文魁郭东民冯彬曾志群阎佐健刘军戚晖潘福全鲁向群吕祺
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- GY5型高精密五维微调样品架
- 1989年
- ＧＹ５型高精密五维微调样品架系一精密超高真空部件，共五个自由度．其运动位 移、转角精度、样品加热及液氮冷却温度均已达到设计指标，使用方便、灵活、可靠。 自１９８４年研制成功以来，已做为单独产品销售于国内各大学及科研单位、深受用户好 评．经中科院沈阳分院级鉴定，认为其外观质量、加工精度及主要技术指标均已达到国 际同类产品水平，可替代进口产品，满足科研工作需要。
- 李求恕
- 关键词：超高真空
- LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备的研制
- 1992年
- 一、前言 LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备系我中心为国家'七五'攻关项目(75-70-05-15)专题而专让设计制造的一台线列式七室连续沉积设备,该设备于1991年3月30日通过了国家教委鉴定。评审专家一致认为,该设备结构新颖、设计合理、性能优良、技术指标先进、开发潜力大。
- 李求恕
- 关键词：非晶硅太阳能电池
- 平面显示器连续镀膜装置
- 本实用新型涉及一种平面显示器连续镀膜装置。由五个长方形箱体喷淋烘干室、进样室、溅射室、翻转室、电子束蒸发室及抽气机构等组成,其中喷淋烘干室为非真空室,进样室、溅射室、翻转室和电子束蒸发室为线列式连续镀膜的真空室,手动矩形...
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- 非晶硅薄膜太阳能电池制作装置
- 本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池制作设备。由七个真空室、真空获得装置、气路和尾气处理组成,七个真空室为长方体形,线列式排列,气动闸板阀隔离,设有轨道小车及导轨,三个反应室及过渡室设电容耦合电极板;气路分9路进气,三...
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- 脉冲激光淀积装置
- 本实用新型涉及一种脉冲激光淀积装置。由真空室、转靶机构、样品架、加热炉、离子枪和真空抽气装置组成,其中真空室为球形,转靶机构和样品架分别安装在真空室里,相对设置,在一个中心线上,所述真空室球体上设有多个法兰窗,其中两个法...
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- 高精密五维微调样品架
- 本实用新型涉及一种高精密五维微调样品夹持装置。由真空机械转轴、三维运动组件、陶瓷封接器件、低温冷却器、样品杆组件和样品夹持件组成,其真空机械转轴穿过三维运动组件、低温冷却器安装至样品杆组件处,陶瓷封接器件安装在三维运动组...
- 李求恕
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- 超高真空多功能磁控溅射装置
- 本实用新型涉及一种超高真空多功能磁控溅射装置。由主溅射室、进样室、磁力传动机构、超高真空抽气装置和高真空抽气分子泵组成,其中主溅射室为梨形结构,由圆柱形真空室配装一“梨把”,“梨把”下面加装一套超高真空抽气装置,进样室为...
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- 硬碳膜沉积装置
- 本实用新型涉及一种硬碳膜沉积装置。由真空室、泵抽机组等组成,其真空室具有封帽,安装在机架上,与泵抽机组相连,在其封帽上设有放气阀和进气截止阀,上电极在真空室里接地,在真空室底部安装一可水冷的、接RF射频功率电源、由电机驱...
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