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卓敏

作品数：10 被引量：18H指数：3
供职机构：南京电子器件研究所更多>>
发文基金：微波毫米波单片集成电路与模块国家级重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术机械工程理学更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 5个电气工程
  • 5个一般工业技术
  • 4个机械工程
  • 4个理学
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  • 1个环境科学与工...
  • 1个农业科学

主题

  • 6个射频
  • 6个溅射
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  • 5个微机电系统
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  • 5个机电系统
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  • 2个氮化硅
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  • 2个氮化铝
  • 2个氮化铝薄膜

机构

  • 6个南京电子器件...
  • 2个东南大学
  • 2个中国电子科技...
  • 2个微波毫米波单...
  • 1个南京大学
  • 1个中国科学院
  • 1个电子工业部

资助

  • 5个江苏省自然科...
  • 5个微波毫米波单...
  • 4个国防科技重点...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个国家科技重大...
  • 1个国家社会科学...
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  • 1个国家部委预研...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个江苏高校优势...
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  • 1个教育部“新世...

传媒

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  • 4个功能材料与器...
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  • 1个科学通报
  • 1个电子工艺技术
  • 1个南京航空航天...

地区

  • 6个江苏省
共 6 条 记 录，以下是 1-6
朱健
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张龙
供职机构：南京电子器件研究所
研究主题：MEMS 磁控溅射 磁控溅射制备 BST薄膜 高隔离度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林立强
供职机构：南京电子器件研究所
研究主题：BST薄膜 衬底 溅射 居里温度 钛酸锶钡薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈辰
供职机构：南京电子器件研究所
研究主题：高电子迁移率晶体管 ALGAN/GAN ALGAN/GAN_HEMT 氮化镓 4H-SIC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾世星
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴璟
供职机构：南京电子器件研究所
研究主题：MEMS 通孔 磁控溅射制备 磁控溅射 压应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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