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刘效岩
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北京七星华创电子股份有限公司
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刘玉岭
河北工业大学电气信息学院
吴仪
北京七星华创电子股份有限公司
胡轶
河北工业大学信息工程学院微电子...
初国超
北京七星华创电子股份有限公司
姬丹丹
北京七星华创电子股份有限公司
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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吴仪
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
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胡轶
供职机构:新疆师范大学化学化工学院
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 碱性抛光液 抛光速率
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姬丹丹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 卡盘 夹持 晶片 种盘
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初国超
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 超微 超纯水 雾化液 雾化
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冯晓敏
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 射孔 静电 清洗方法 气体
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刘海晓
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 去除速率 速率 化学机械平坦化
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何彦刚
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 阻挡层 化学机械抛光 抛光表面 水溶液聚合
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田军
供职机构:河北工业大学
研究主题:硬盘基板 CMP 粗糙度 计算机 去除速率
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李晖
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 速率 去除速率 超纯水 机械抛光
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