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姬丹丹

作品数：37 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 37篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 16篇硅片
  • 13篇卡盘
  • 10篇夹持
  • 9篇晶片
  • 7篇种盘
  • 6篇旋转轴
  • 6篇腔体
  • 6篇转轴
  • 6篇污染
  • 6篇卡爪
  • 6篇机械手
  • 4篇气体
  • 4篇流场
  • 4篇硅片清洗
  • 3篇单片
  • 3篇氮气
  • 3篇氮气保护
  • 3篇底面
  • 3篇电气部件
  • 3篇液滴

机构

  • 37篇北京七星华创...

作者

  • 37篇姬丹丹
  • 22篇张豹
  • 16篇吴仪
  • 15篇王波雷
  • 15篇王浩
  • 12篇李伟
  • 6篇刘效岩
  • 6篇张享倩
  • 6篇马嘉

年份

  • 2篇2018
  • 5篇2017
  • 3篇2016
  • 14篇2015
  • 3篇2014
  • 9篇2013
  • 1篇2012
共 37 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
可多次使用的辅助安装工具
本实用新型涉及零部件安装技术领域，特别涉及一种可多次使用的辅助安装工具。该辅助安装工具包括板体，板体上设有中心孔，中心孔位于板体的中心；沿中心孔的几何中心辐射出的辐射线上设有一组辐射孔，板体上至少有三组辐射孔，且每组辐射...
李伟王浩姬丹丹张豹王波雷
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一种双氮气保护喷射装置及使用该装置的晶片清洗方法
本发明公开了一种双氮气保护喷射装置及使用该装置的晶片清洗方法，通过在喷射装置环绕超纯水出液孔和氮气出气孔设置内圈喷射口和外圈喷射口用来垂直及倾斜喷射氮气，在超纯水冲洗步骤中，可在晶片表面的水层外侧形成内、外两道氮气保护层...
刘效岩吴仪赵曾男姬丹丹
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一种自清洗腔体
本实用新型涉及硅片清洗领域，尤其涉及一种自清洗腔体，其包括壳体、喷水嘴和排液口。其中，喷水嘴安装在壳体外部，排液口在壳体底部。喷水嘴有上下两排，其上下位置面对面正对。进液软管的一端在喷水嘴内，没有伸入喷水嘴的部分安装有调...
张享倩王波雷姬丹丹李伟王浩
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清洗兆声波换能器的装置
本发明公开了一种清洗兆声波换能器的装置，该装置包括清洗槽、挡流板和隔流板，所述清洗槽的两侧面对应设置有液体入口和液体出口，液体入口侧设置有气体入口，所述挡流板设置在清洗槽内液体入口前，所述挡流板底部设置多个排流孔，所述隔...
姬丹丹王波雷李伟张享倩王浩
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具有限位结构的盘状物夹持装置
本实用新型公开了一种盘状物夹持装置，包括放置盘状物的旋转卡盘；带动旋转卡盘旋转的旋转轴；以及驱动旋转轴旋转的驱动机构。旋转卡盘包括基体，设于基体周缘的夹持元件，环形体以及限位结构。夹持元件包括主体部及夹持部，主体部自旋转...
姬丹丹王锐廷马嘉王波雷张豹
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一种用于单片清洗设备的防止晶片背面污染的装置
本实用新型公开了一种用于单片清洗设备的防止晶片背面污染的装置，包括同心设于旋转卡盘上面的氮气盖，在氮气盖的上表面中部凸出设有一气体喷射机构，环绕气体喷射机构侧面均匀设有多个出气孔，出气孔按辐射状朝向位于其上方的晶片背面的...
刘效岩吴仪赵曾男张豹姬丹丹
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一种具有限位结构的盘状物夹持装置
本发明公开了一种盘状物夹持装置，包括放置盘状物的旋转卡盘；带动旋转卡盘旋转的旋转轴；以及驱动旋转轴旋转的驱动机构。旋转卡盘包括基体，设于基体周缘的夹持元件，环形体以及限位结构。夹持元件包括主体部及夹持部，主体部自旋转而使...
姬丹丹王锐廷马嘉王波雷张豹
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一种盘状物夹持装置
本发明公开了一种盘状物夹持旋转装置，在基体的周缘设置多个支撑销，支撑销由行程变换机构驱动做升降运动，通过卡爪和支撑销相互配合，在取放盘状物时，支撑销做上升运动，远离卡盘，保证机械手末端执行器的取放片动作，在盘状物处于工艺...
王锐廷张豹姬丹丹王浩李伟
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一种具有限位结构的盘状物夹持装置
本发明公开了一种盘状物夹持装置，包括放置盘状物的旋转卡盘；带动旋转卡盘旋转的旋转轴；以及驱动旋转轴旋转的驱动机构。旋转卡盘包括基体，设于基体周缘的夹持元件，环形体以及限位结构。夹持元件包括主体部及夹持部，主体部自旋转而使...
姬丹丹王锐廷马嘉王波雷张豹
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一种排风装置
本发明涉及硅片湿法清洗领域，尤其涉及一种排风装置。该排风装置包括底腔、兆声波装置盛液槽、兆声波装置盛液槽固定支架、夹层及排风调整单元，所述底腔固定于所述夹层顶部，所述兆声波装置盛液槽通过兆声波装置盛液槽固定支架固定于所述...
王波雷王锐廷张豹姬丹丹
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