2024年11月30日
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霍宗亮
作品数:
364
被引量:21
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
电气工程
一般工业技术
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合作作者
叶甜春
清华大学
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
王颀
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
张满红
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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相关作者
所获基金
研究领域
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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相关人物
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所获资助
研究领域
北京大学
研究主题:影响因素 实证研究 企业 高校 可持续发展
发表作品
相关人物
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所获资助
研究领域
清华大学
研究主题:数值模拟 存储介质 碳纳米管 电力系统 电子设备
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题:集成电路 SOI MOSFET 硅 多晶硅
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相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
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