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刘键

作品数：94 被引量：51H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划中国科学院重点实验室基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学机械工程更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院
研究主题：催化剂 土壤 英文 青藏高原 遥感
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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