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陈潮枢

作品数：21 被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

共 2 条 记 录，以下是 1-2
中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子中心
研究主题：集成电路 电子束曝光 电子束 专用集成电路 微细加工
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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